Alimentatore sputtering a media frequenza serie MSB

Breve descrizione:

La serie MSB si basa sulla sua eccellente tecnologia di modulazione della forma d'onda per emettere CC, impulsi CC, onda quadra bidirezionale, onda trapezoidale bidirezionale e altre forme d'onda.Il prodotto ha forma d'onda di uscita regolabile, frequenza di uscita selezionabile, ciclo di lavoro regolabile e controllo preciso della potenza.Oltre al basso accumulo di energia e alla rapida risposta all'arco.Fornire un controllo comodo e preciso per il processo di rivestimento.I prodotti vengono utilizzati principalmente in vari processi di produzione di film sottili, nell'industria delle celle solari e nell'industria del rivestimento sotto vuoto;processi applicativi: processo di sputtering con magnetron, sputtering a doppio target e PECVD tubolare.

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Caratteristiche

Installazione su rack
Risposta rapida dell'arco, tempo di risposta <100 ns
Basso accumulo di energia, <0,5 mJ/KW
Tecnologia PFC interlacciata multifase, il fattore di potenza arriva fino a 0,95
È possibile selezionare varie modalità di uscita, modalità continua e intermittente
Il circuito inverter adotta la tecnologia full soft switching e utilizza il semiconduttore SiC di terza generazione come dispositivo di alimentazione, con un'eccellente efficienza
Rilevamento accurato dell'arco, molteplici metodi di monitoraggio disponibili