Alimentatore per sputtering serie MSD

Immagine in evidenza dell'alimentatore per sputtering della serie MSD

Breve descrizione:

L'alimentatore a sputtering CC della serie MSD adotta il sistema di controllo CC core dell'azienda, combinato con un eccellente schema di elaborazione dell'arco, garantendo al prodotto prestazioni estremamente stabili, elevata affidabilità, danni da arco ridotti e buona ripetibilità del processo. Interfaccia display in cinese e inglese, facile da usare.

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Caratteristiche

● Installazione su rack

● Risposta rapida dell'arco, tempo di risposta <100 ns

● Accumulo di energia dal basso, <1mJ/kW

● Struttura di installazione compatta, telaio standard 3U

● Interfaccia di visualizzazione cinese/inglese, facile da usare

● Controllo preciso

● Ampia gamma di output

● Funzione di protezione perfetta

Dettagli del prodotto

Ingresso	Tensione di ingresso: 3AC380V±10%
Ingresso	Potenza: 20 kW, 30 kW Frequenza di alimentazione in ingresso: 50Hz/60Hz
Produzione	Tensione di uscita massima: 800 V
	Corrente di uscita massima: 50A、75A
	Ondulazione della corrente di uscita: ≤3% rms
	Ondulazione della tensione di uscita: ≤2% rms
Indice tecnico	Tensione di accensione: 1000V / 1200V opzionale
	Efficienza di conversione: 95%
	Tempo di spegnimento dell'arco: <100 ns
	Interfaccia di comunicazione: Standard RS485 / RS232 (PROFIBUS, PROFINET, DeviceNet ed EtherCAT sono opzionali)
	Dimensioni (ALP) mm: 132482560: 176482700
	Modalità di raffreddamento: raffreddamento ad aria
Nota: il prodotto continua a essere innovativo e le prestazioni continuano a migliorare. Questa descrizione dei parametri è solo a scopo di riferimento.