Alimentatore sputacchiante
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Alimentatore sputtering a media frequenza serie MSB
L'alimentatore RF della serie RHH si basa su una tecnologia di generazione RF matura per fornire ai clienti un alimentatore RF con maggiore potenza, maggiore precisione e risposta rapida.Con la fase è possibile impostare, controllare gli impulsi, sintonizzazione digitale e altre funzioni.Campi applicabili: industria fotovoltaica, industria dei display a schermo piatto, industria dei semiconduttori, industria chimica, laboratorio, ricerca scientifica, produzione, ecc.
Processi applicabili: deposizione chimica in fase vapore potenziata dal plasma (PECVD), incisione al plasma, pulizia al plasma, sorgente ionica a radiofrequenza, diffusione al plasma, sputtering di polimerizzazione al plasma, sputtering reattivo, ecc.
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Alimentatore sputtering serie MSD
L'alimentatore DC sputtering della serie MSD adotta il sistema di controllo DC principale dell'azienda combinato con un eccellente schema di elaborazione dell'arco, in modo che il prodotto abbia prestazioni molto stabili, elevata affidabilità del prodotto, piccoli danni da arco e buona ripetibilità del processo.Adotta l'interfaccia di visualizzazione cinese e inglese, facile da usare.