Alimentatore RF serie RHH

Breve descrizione:

L'alimentatore RF della serie RHH si basa su una tecnologia RF di ultima generazione per fornire ai clienti un alimentatore RF con maggiore potenza, maggiore precisione e risposta rapida. È dotato di funzione di impostazione della fase, controllo degli impulsi, sintonizzazione digitale e altre funzioni. Campi di applicazione: industria fotovoltaica, industria dei display a schermo piatto, industria dei semiconduttori, industria chimica, laboratori, ricerca scientifica, produzione, ecc.
Processi applicabili: deposizione chimica da vapore migliorata al plasma (PECVD), incisione al plasma, pulizia al plasma, sorgente di ioni a radiofrequenza, diffusione al plasma, sputtering di polimerizzazione al plasma, sputtering reattivo, ecc.

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Caratteristiche

● Stili di montaggio a mezzo mattone e rack
● Adotta il controllo digitale completo, con un menu operativo comodo e ricco
● Funzioni di sintonizzazione della frequenza, impulso e sincronizzazione degli impulsi
● Con funzione di sincronizzazione di fase CEX
● Funzione di protezione perfetta

Dettagli del prodotto

Ingresso	Tensione di ingresso: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (specifiche speciali personalizzabili)
Ingresso	Frequenza di ingresso: 47~63Hz
Produzione	Frequenza di uscita: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
	Gamma di sintonizzazione: ±5%
	Potenza di uscita: 1,5~5kW
	Intervallo di regolazione della potenza di uscita: 1~100%
	Impedenza di uscita: 50Ω+j0
	Interfaccia di uscita: tipo N
	Modalità di uscita: continua, a impulsi
	Frequenza degli impulsi: 100Hz~100kHz
	Ciclo di lavoro: 5~95%
Indice di prestazione	Fattore di potenza: 0,98
	Precisione della stabilità della frequenza: ±0,005%
	Efficienza: 75% (a potenza nominale)
	Armonica: ＜-45dBc
	Dispersione: ＜-50 dBc
	Interfaccia di controllo esterna: grandezza analogica, comunicazione e sincronizzazione
	Modalità di comunicazione: interfaccia di comunicazione standard RS485; opzionale Ether CAT, Ethernet industriale, ecc.
Nota: il prodotto continua a essere innovativo e le prestazioni continuano a migliorare. Questa descrizione dei parametri è solo a scopo di riferimento.