Alimentatore RF serie RHH
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Alimentatore RF serie RHH
L'alimentatore RF della serie RHH si basa su una tecnologia RF di ultima generazione per fornire ai clienti un alimentatore RF con maggiore potenza, maggiore precisione e risposta rapida. È dotato di funzione di impostazione della fase, controllo degli impulsi, sintonizzazione digitale e altre funzioni. Campi di applicazione: industria fotovoltaica, industria dei display a schermo piatto, industria dei semiconduttori, industria chimica, laboratori, ricerca scientifica, produzione, ecc.
Processi applicabili: deposizione chimica da vapore migliorata al plasma (PECVD), incisione al plasma, pulizia al plasma, sorgente di ioni a radiofrequenza, diffusione al plasma, sputtering di polimerizzazione al plasma, sputtering reattivo, ecc.