Alimentazione RF
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Alimentatore RF serie RLS
L'alimentatore RF della serie RLS adotta l'attuale amplificatore di potenza stabile e affidabile e il sistema di controllo CC principale dell'azienda, in modo che il prodotto abbia prestazioni molto stabili e un'elevata affidabilità del prodotto.Adotta l'interfaccia di visualizzazione cinese e inglese, facile da usare.Utilizzato principalmente nell'industria fotovoltaica, nell'industria dei display a schermo piatto, nell'industria dei semiconduttori, nell'industria chimica, nel laboratorio, nella ricerca scientifica, nella produzione, ecc.
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Matcher della serie RMA
Può essere adattato all'alimentatore RF della serie RLS ed è ampiamente utilizzato nell'incisione al plasma, nel rivestimento, nella pulizia al plasma, nella sgommatura al plasma e in altri processi.Se utilizzato da solo, può essere utilizzato insieme ad alimentatori RF di altri produttori.
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Alimentatore RF serie RHH
L'alimentatore RF della serie RHH si basa su una tecnologia di generazione RF matura per fornire ai clienti un alimentatore RF con maggiore potenza, maggiore precisione e risposta rapida.Con la fase è possibile impostare, controllare gli impulsi, sintonizzazione digitale e altre funzioni.Campi applicabili: industria fotovoltaica, industria dei display a schermo piatto, industria dei semiconduttori, industria chimica, laboratorio, ricerca scientifica, produzione, ecc.
Processi applicabili: deposizione chimica in fase vapore potenziata dal plasma (PECVD), incisione al plasma, pulizia al plasma, sorgente ionica a radiofrequenza, diffusione al plasma, sputtering di polimerizzazione al plasma, sputtering reattivo, ecc.