Alimentatore sputtering a media frequenza serie MSB
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Alimentatore sputtering a media frequenza serie MSB
L'alimentatore RF della serie RHH si basa su una tecnologia di generazione RF matura per fornire ai clienti un alimentatore RF con maggiore potenza, maggiore precisione e risposta rapida.Con la fase è possibile impostare, controllare gli impulsi, sintonizzazione digitale e altre funzioni.Campi applicabili: industria fotovoltaica, industria dei display a schermo piatto, industria dei semiconduttori, industria chimica, laboratorio, ricerca scientifica, produzione, ecc.
Processi applicabili: deposizione chimica in fase vapore potenziata dal plasma (PECVD), incisione al plasma, pulizia al plasma, sorgente ionica a radiofrequenza, diffusione al plasma, sputtering di polimerizzazione al plasma, sputtering reattivo, ecc.